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名称 大规模集成电路的未来技术 [YW]
索引号 068194
分类号
(| 08 环境公报)
作者 西泽润一、杨世良、林Ł̲、
出版社 北京 : 科学出版社, 1988.8
ISBN 7-03-000414-0
页数 342页 : 图 ; 19cm
价格 CNY4.60
标签
简介
注解 分析和探讨集成电路技术中的材料制造技术与微细加工技术等・