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名称 多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用
索引号 101760
分类号
(| 08 环境公报)
作者 王阳元、卡明斯 T.I.、
出版社 北京 : 科学出版社, 1988.8
ISBN 7-03-000308-X
页数 522页 ; 20cm
价格 CNY7.50
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简介
注解 本书介绍了多晶硅薄膜的性质及其在MOS和双极型集成电路中的应用・