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名称 SOI技术 : 21世纪的硅集成电路技术
索引号 105217
分类号
(| 08 环境公报)
作者 考林基 J.P.、武国英、
出版社 北京 : 科学出版社, 1993
ISBN 7-03-003757-X
页数 215页 ; 20cm
价格 CNY7.90
标签 it、
简介
注解
书籍简介

书名原文:Silcon-on-insulator technology
内容提要 本书包括:SOI材料、SOI材料的表征技术、SOI MOSFET、SOI电路等8章。
题名 Silcon-on-insulator technology
主题 绝缘衬底上外延硅MOS集成电路