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名称 等离子体化学与工艺
索引号 633116
分类号
(| 08 环境公报)
作者 赵化侨、
出版社 合肥 : 中国科学技术大学出版社, 1993.2
ISBN 7-312-00392-3
页数 315页 ; 20cm
价格 CNY6.70
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简介
注解 英文题名:Plasma chemistry and processing 阐述了等离子体化学的基本理论和和应用技术,包括:等离子体的发生、辉光放电过程的应用与解析、溅射制膜等8章・