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名称 集成电路工艺基础
索引号 604508
分类号
(| 08 环境公报)
作者 王阳元、
出版社 北京 : 高等教育出版社, 1991.5
ISBN 7-04-003314-3
页数 610页 ; 21cm
价格 CNY7.25
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简介
注解 高等学校教材 本书主要内容有：硅晶体结构，扩散、离子注入、外延、氧化、化学汽相淀积、光刻、刻蚀等十二章・