名称 微电机结构工艺学
索引号 603039
分类号
(| 08 环境公报)
作者 张子忠、
出版社 哈尔滨 : 哈尔滨工业大学出版社, 1988.11
ISBN 7-5603-0080-4
页数 291页 ; 26cm
价格 CNY3.50
标签 先看看、
简介
注解 本书主要介绍微电机的结构、制造工艺和结构工艺性等问题・