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名称 固体电子学中的等离子体技术
索引号 066356
分类号
(| 08 环境公报)
作者 钱振型、
出版社 北京 : 电子工业出版社, 1987.11
ISBN 7-5053-0096-2
页数 310页 ; 26cm
价格 CNY3.30
标签
简介
注解 高等学校教学用书・ 阐述低温等离体技术的原理、特性和固体电子器件研制和生产中的各种应用・