| 名称 | 微电子生产工艺实用手册 | |
| 索引号 | 604507 | |
| 分类号 | (| 08 环境公报) |
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| 作者 | 王家源、刘长恩、 | |
| 出版社 | 北京 : 电子工业出版社, 1992 | |
| ISBN | 7-5053-1527-7 | |
| 页数 | 436页 ; 20cm | |
| 价格 | CNY10.50 | |
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| 简介 | ||
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