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名称 集成电路制造技术 : 原理与实践
索引号 036721
分类号
(| 08 环境公报)
作者 庄同曾、黄兰芳、张安康、
出版社 北京 : 电子工业出版社, 1987.10
ISBN 7-5053-0174-8
页数 726页 : 图 ; 26cm
价格 CNY7.65
标签
简介
注解 高等学校教学用书・ 包括单晶制备、芯片制造、测试、组装技术、器件与工艺模拟、化学气相淀积、完美晶体工艺、测试结构、理化分析、可靠性与质量管理等・