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名称 超大规模集成电路工艺学
索引号 033895
分类号
(| 08 环境公报)
作者 史西蒙 S.M.、史常忻、
出版社 上海 : 上海交通大学出版社, 1987.10
ISBN 7-313-00046-4
页数 456页 ; 26cm$
价格 CNY4.80
标签
简介
注解 包括晶体生长、电子制备, 外延、介质和多晶硅淀积、氧化、扩散、离子注入、光刻、干法刻蚀、金属化、装配和管壳、成品率和可靠性・