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名称 薄膜科学与技术手册. 上册
索引号 TB43-62/961/1
分类号 TB43-62/961
TB43(薄膜技术)
TB4(工业通用技术与设备)
TB(一般工业技术-工业技术)
T(工业技术)
作者 田民波、刘德令、
出版社 北京 : 机械工业出版社, 1991.3
ISBN 7-111-02487-7
页数 787页 ; 26cm
价格 精装
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简介
注解 据《薄膜手册》和《薄膜制作、评议及其应用技术手册》两书编译 本册包括薄膜基础,薄膜制备工艺,薄膜的性能检测三篇