| 名称 | 半导体硅锗中的离子注入 | |
| 索引号 | 060607 | |
| 分类号 | (| 08 环境公报) |
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| 作者 | 迈耶、J.W.、余怀之、 | |
| 出版社 | 北京 : 科学出版社, 1979 | |
| ISBN | ||
| 页数 | 290页 ; 19cm | |
| 价格 | CNY0.97 | |
| 标签 | ||
| 简介 | ||
| 注解 | 书名原文:Ion implantation in semiconductors silicon and germanium | |
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