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名称 超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程
索引号 604786
分类号
(| 08 环境公报)
作者 刘玉岭、檀柏梅、张楷亮、
出版社 北京 : 冶金工业出版社, 2002
ISBN 7-5024-3050-4
页数 311页 : 图 ; 26cm
价格 CNY39.50
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简介
注解 有书目 (第302页) 本书介绍了作为超大规模集成电路衬底材料硅的性能、硅单晶衬底的加工工艺以及相关的测试技术。
书籍简介

《超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程》介绍了作为超大规模集成电路衬底材料硅的性能、硅单晶衬底的加工工艺以及相关的测试技术。