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名称 电子束离子束技术
索引号 602444
分类号
(| 08 环境公报)
作者 赵玉清、
出版社 西安 : 西安交通大学出版社, 2002
ISBN 7-5605-1085-X
页数 254页 : 图 ; 23cm
价格 CNY28.00
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简介
注解 有书目 (第 [249]-254页)・ 本书对有关电子束离子束的产生、引出、加速和偏转的工作原理，物理过程和主要部件进行了介绍（第Đł章，第Đø章，第Đđ章和第Đþ章），介绍了带电粒子束与固体表面相互作用的原理和产生的结果，以及电子束离子束技术在微电子领域的应用（第Đæ章，第Đœ章和第Đʺ章），最后介绍了最近几年发展十分迅速的、与纳米技术息息相关的扫描隧道显微镜技术（第Đı章）・