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名称 离子束沉积薄膜技术及应用
索引号 600878
分类号
(| 08 环境公报)
作者 刘金声、
出版社 北京 : 国防工业出版社, 2003
ISBN 7-118-02882-7
页数 434页 : 图 ; 21cm
价格 精装
标签 专业、
简介
注解 有书目 (第 [431] -432页) 本书系统地介绍先进离子束沉积(IBD)薄膜技术及应用・全书共五章・包括离子束沉积薄膜技术基础；离子束溅射沉积薄膜技术研究及应用；双离子束制取薄膜和改性方法；离子束反应溅射沉积薄膜方法；离子束辅助轰击生长薄膜效应及离子束辅助沉积薄膜方法・本书取材新颖，理论联系实际，书中提供了丰富的研究方法及范例，对普及和推广离子束沉积薄膜技术具有重要指导意义・ 读者对象：近代薄膜科学技术与材料研究人员和工艺师，理工科大专院校有关专业师生
书籍简介

《离子束沉积薄膜技术及应用》由国防工业出版社出版。