《软X射线与极紫外辐射的原理和应用》由辐射、散射、波的传播、衍射、相干等相关的基本原理的阐述作为开始，然后讨论了与软X射线与极紫外辐射相关的许多现象和应用。为了满足尽可能多的读者的需要，本书的每一章都从重要结果和概念的总结开始，紧接着是几乎没有数学公式的引言，随后是所讨论主题的详细数学演绎。《软X射线与极紫外辐射的原理和应用》的内容涉及极紫外光刻、生物显微术、光谱显微术、极紫外天文学、同步辐射、高温高密等离子体物理以及软X射线激光。