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名称 微电子制造科学原理与工程技术
索引号 604509
分类号
(| 08 环境公报)
作者 坎贝尔、 S. A.、曾莹、严利人、王纪民、
出版社 北京 : 电子工业出版社, 2003
ISBN 7-5053-8313-2
页数 613页 : 图 ; 26cm
价格 CNY59.00
标签 etit、tech、微电子、微电子工艺、电气、
简介
注解 并列题名：Science and engineering of microelectronic fabrication 题名页题: 严利人, 王纪民, 张伟译 据美国Oxford University Press公司2001年英文版第2版译出・ 由美国Oxford University Press公司授权电子工业出版社出版・ 责任者规范汉译姓: 坎贝尔 有书目