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名称 纳米CMOS器件
索引号 604247
分类号
(| 08 环境公报)
作者 甘学温、黄如、刘晓彦、
出版社 北京 : 科学出版社, 2004
ISBN 7-03-011163-X
页数 344页 : 图 ; 24cm
价格 CNY45.00
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简介
注解 中国科学院科学出版基金资助出版 题名页题: 甘学温, 黄如, 刘晓彦, 张兴编著 有书目 本书介绍了特征尺寸缩小到纳米量级后所面临的挑战，以及为适应纳米量级半导体器件的要求而发展的新工艺技术和新器件结构・全书共六章，内容包括：Đ©Đ⁻Đ₁Đ₅半导体器件等比例缩小的发展趋势；实现纳米图形尺寸的光刻技术；纳米器件中的新型栅结构及新型沟道结构，以及各种新型的纳米Đ©Đ⁻Đ₁Đ₅器件结构的原理及实现技术・本书取材新颖，反映了Đ©Đ⁻Đ₁Đ₅器件的最新发展・
书籍简介

《纳米CMOS器件》介绍了微电子技术中的超深亚微米及纳米器件的物理、工艺和器件结构设计等问题。