纳米薄膜具有特殊的物理和化学特性，在纳米电子学中有很重要的前景。本书主要介绍了当前有关纳米薄膜的制备、器件和应用的比较前沿的内容和资料,详细地阐述了国内外该领域的发展动向及趋势，其中也包作者的研究成果。内容包括：纳米薄膜材料的基本概念；材料的制备方法以及物理、化学性能；半导体纳米量子点；Si基纳米薄膜与器件；纳米薄膜的电子转移和单电子电导等。本书可供从事纳米材料的纳米电子器件研究工作的行业技术人员及相关专业本科和研究生参考。