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名称 微系统技术
索引号 604453
分类号
(| 08 环境公报)
作者 门茨、 W.、默尔、 J.、保罗、 O.、王春海、于杰、
出版社 北京 : 化学工业出版社材料科学与工程出版中心, 2003
ISBN 7-5025-4692-8
页数 468页 : 图 ; 21cm
价格 CNY38.00
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简介
注解 据Wiley2001年原版译出 英文并列题名取自版权页 责任者规范汉译姓: 门茨(Menz) ; 默尔(Mohr) ; 保罗(Paul) 有书目 (第446-467页) 本书介绍了微系统技术的基础知识，详细介绍了光刻技术、硅技术、LIGA技术、微结构加工技术、封装技术、系统技术等・
书籍简介

本书是德国WILEY-VCH出版社“Microsystem Technology”一书的中译本，讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为10章，前4章介绍微系统技术的基础知识、如微系统与微结构间的相互关系、单晶硅的生产、微系统技术的物理和化学基础等；5-10章为本书核心，详细介绍微系统技术的基本工艺方法，包括光刻技术、硅技术、LIGA技术(X射线电镀成型)、封装技术等。
本书可作为高校相关专业学生的等候课教材和课外读物，也适用于微系统技术的专业人员和对微系统技术感兴趣的人员阅读。