具有优异特性的金刚石薄膜是材料界的研究热点之一，在高新科技应用领域具有重要作用。本书较全面、系统地介绍了当前国内外有关金刚石薄膜的制备方法和其在高新技术方面的应用。主要内容包括：金刚石薄膜的微观结构；力学、热学、光学、电学特性、传感器、表面声波滤波器、涂层刀具等方面的应用。本书的科学性、系统性强，概念清楚，叙述简明扼要，内容上反映了当前学科最前沿水平。
本书可作为相关专业本科生及研究生的教学参考书，对于从事电子功能薄膜材料和新型刀具研制、生产和使用的专业人员具有一定的参考价值。