名称 半导体制造技术
索引号 604287
分类号
(| 08 环境公报)
作者 夸克、 M.、塞尔达、 J.、韩郑生、
出版社 北京 : 电子工业出版社, 2004
ISBN 7-5053-9493-2
页数 600页 : 图 ; 26cm
价格 CNY55.00
标签 半导体工艺、半导体技术、半导体、教材、工艺、微电子、semi、mechatronics、
简介
注解 据2001年英文版译出 由电子工业出版社和Pearson Education培生教育出版亚洲有限公司合作出版 责任者规范汉译姓: 夸克(Quirk) 责任者规范汉译姓: 塞尔达(Serda) 有书目
书籍简介

《半导体制造技术》在半导体领域,技术的变化遵循着摩尔定律的快速节奏,是以月而不是以年为单位计的。《半导体制造技术》详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料,学术界和工业界都称赞这是一本目前在市场上能得到的最全面、最先进的教材。全书共分20章,章节根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排,内容包括:与半导体制作相关的基础技术信息;总体流程图的工艺模型概况,用流程图将硅片制造的主要领域连接起来;具本讲解每一个主要工艺;集成电路装配和封装的后部工艺概况。此外,各章为读者提供了关于质量测量和故障排除的问题,这些都是会在硅片制造中遇到的实际问题。