《微光机电系统》共由三篇构成。第1篇重点介绍微光机电系统在各领域中的应用，即光开关、反射镜阵列、衰减器、显示器、扫描仪、分光计、波长可变光学元件、执行器、可动结构体、传感与传感器等；第2篇是微光机电系统光学，主要介绍微光机电系统中应用的光学原理，即光的反射及折射、干涉、衍射，自由空间光学，光辐射压，近场光学等；第3篇主要介绍材料，制造，封装等。
《微光机电系统》内容新颖，技术先进，涉及的领域广泛，目前国内尚未发现此类专业书籍，具有极高的参考价值。本书可供通信、精密机械、电工电子等相关专业的技术人员参考。