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名称 微惯性仪表 : 微机械加速度计
索引号 TH824/20051
分类号 TH824
TH824(速度测量仪表)
TH82(机械量测量仪表)
TH(机械、仪表工业)
T(工业技术)
作者 董景新、
出版社 北京 : 清华大学出版社, 2003
ISBN 7-302-06296-X
页数 310页 : 图 ; 21cm
价格 CNY15.00
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简介
注解 有书目 (第297-310页) 全书共分9章，主要内容包括：微机械加速度的类型、工作原理及数学模型，电容式微机械加速度计的结构和电路，微机械加速度计的集成、误差分析、主要性能指标及调试方法，微机械加速度计的应用及进一步研究动向等。
书籍简介

微机械加速度计是以IC工艺和微机械加工工艺为基础制作的MEMS器件，在军民两用领域均有广泛的应用前景。本书以作者参加“九五”、“十五”重点预研课题及清华大学“985”校级重点项目工作为基础写成。全书共分9章，主要内容包括：微机械加速度计的类型、工作原理及数学模型，电容式微机械加速度计的结构和电路，微机械加速度计的集成、误差分析、主要性能指标及测试方法，微机械加速度计的应用及进一步研究动向等。 本书

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