纳米科学与技术是近年来获得飞跃发展的新兴科学。本书全面介系统地讲述了纳米科学与技术，内容包括：扫描隧道显微镜和原子力显微镜等扫描探针显微镜；磨擦力、磁力等显微镜；纳米材料；纳米级精密测量技术；纳米级精密加工和原子操纵技术；纳米级表层物理力学性能和纳米磨擦学；纳米电子学；微型机械和微型机电系统及其制造技术。本书内容丰富先进，不仅系统讲述了纳米科学与技术的基础原理和技术，同时还介绍了纳米科技在国内外的最新发展和成就。
本书可供高等学校机械类专业研究生和本科生选为教材，同时也是相关专业科技人员的重要参考书。