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名称 微机电系统设计与制造
索引号 TH-39/20067
分类号 TH-39
TH-39(机电一体化)
TH(机械、仪表工业)
T(工业技术)
作者 刘晓明、朱钟淦、
出版社 北京 : 国防工业出版社, 2005
ISBN 7-118-04121-1
页数 371页 : 图 ; 23cm
价格 CNY32.00
标签 专业、
简介
注解 电子科技大学研究生系列教材建设项目 英文并列题名取自封面 有书目 (第369-371页) 本书概要介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括：MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路 (IC) 基本制造技术，MEMS的制造技术，微传感器，微执行器以及MEMS的应用及检测技术・
书籍简介

本书概要地介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括：MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路(IC)基本制造技术，MEMS的制造技术，微传感器，微执行器以及MEMS的应用及检测技术。

本书针对非微电子专业的高年级本科生和研究生学习MEMS技术之用。通过对本书的学习，使读者能够在集成电路制造技术方面，获得必要的知识，同时对MEMS的设计与制造有一个比较完整的了解，为开展MEMS的研究奠定必要的基础。