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名称 Ion implantation, sputtering and their applications
索引号 TN305.3/E802
分类号 TN305.3
TN305.3(掺杂)
TN305(半导体器件制造工艺及设备)
TN30(一般性问题)
TN3(半导体技术)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 Townsend、 P. D. (Peter David)、Kelly、 J. C. (John Clive)、 joint author.、Hartley、 N. E. W.、 joint author.、
出版社 London ; New York : Academic Press, 1976.
ISBN
页数 ix, 333 p. : ill. ; 24 cm.
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