| 名称 | Ion implantation | |
| 索引号 | TN305.3/E803 | |
| 分类号 | TN305.3 TN305.3(掺杂) TN305(半导体器件制造工艺及设备) TN30(一般性问题) TN3(半导体技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术) |
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| 作者 | ||
| 出版社 | London Amsterdam, North-Holland Pub. Co.; New York, American Elsevier, 1973. | |
| ISBN | ||
| 页数 | xv, 802 p. with illus. 23 cm. | |
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| 简介 | ||
| 注解 | ||
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