大拱桥--暨南大学学生门户 » 图书馆 » 表面处理 » Ion implantation
名称 Ion implantation
索引号 TN305.2/E801
分类号 TN305.2
TN305.2(表面处理)
TN305(半导体器件制造工艺及设备)
TN30(一般性问题)
TN3(半导体技术)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 International Conference on Ion Implantation in Semiconductors、 1st、 Thousand Oaks、 Calif.、 1970.、Eisen、 Fred H.、 ed.、Chadderton、 Lewis T.、 ed.、
出版社 London, New York, Gordon and Breach Science Publishers [1971]
ISBN
页数 xii, 464 p. illus. 27 cm.
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简介
注解 Held May 4-7, 1970. 附註 Includes bibliographical references.