| 名称 | Plasma etching in semiconductor fabrication | |
| 索引号 | TN305/E901 | |
| 分类号 | TN305 TN305(半导体器件制造工艺及设备) TN30(一般性问题) TN3(半导体技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术) |
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| 作者 | Morgan、 Russ A.、 1950-、 | |
| 出版社 | Amsterdam ; New York : Elsevier, 1985. | |
| ISBN | ||
| 页数 | x, 316 p. : ill. ; 25 cm. | |
| 价格 | ||
| 标签 | ||
| 简介 | ||
| 注解 | Includes index. 附註 Bibliography: p. 303-311. | |
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