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名称 Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction
索引号 TB7/E903
分类号 TB7
TB7(真空技术)
TB(一般工业技术-工业技术)
T(工业技术)
作者 Stuart、 R. V.、
出版社 New York : Academic Press, 1983.
ISBN
页数 viii, 151 p. : ill. ; 24 cm.
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简介
注解 Includes index.