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名称 Ion implantation of semiconductors
索引号 TN305.3/E801
分类号 TN305.3
TN305.3(掺杂)
TN305(半导体器件制造工艺及设备)
TN30(一般性问题)
TN3(半导体技术)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 Carter、 G. (George)、 1934-、Grant、 W. A. (William Alexander)、 1941-、
出版社 London : E. Arnold, 1976.
ISBN
页数 viii, 214 p. : ill. ; 24 cm.
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