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名称 Microsensors, MEMS, and smart devices
索引号 TP212/E20021-2
分类号 TP212
TP212(发送器（变化器）、传感器)
TP21(自动化元件、部件)
TP2(自动化技术及设备)
TP(自动化技术计算技术技术)
T(工业技术)
作者 Gardner、 J. W. (Julian W.)、 1958-、Varadan、 V. K.、 1943-、Awadelkarim、 Osama O.、
出版社 Beijing : Tsinghua University Press, 2004.
ISBN
页数 xvi, 503 p. : ill. ; 23 cm.
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简介
注解 Parallel title in Chinese from cover: 传感器，微机电系统和灵巧器件 附註 Includes bibliographical references and index. 附注 Reprint. Originally published: Chichester ; New York : J. Wiley, c2001. 047186109X.