| 名称 | Low dielectric constant materials for IC applications | |
| 索引号 | TM21/E20051 | |
| 分类号 | TM21 TM21(绝缘材料、电介质及其制品) TM2(电工材料) TM(电子技术) T(工业技术) |
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| 作者 | ||
| 出版社 | Berlin ; New York : Springer, c2003. | |
| ISBN | ||
| 页数 | xix, 309 p. : ill. ; 25 cm. | |
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| 简介 | ||
| 注解 | ||
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