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名称 The science and engineering of microelectronic fabrication = 微电子制造科学原理与工程技术
索引号 TN405/E20062.2
分类号 TN405
TN405(制造工艺)
TN40(一般性问题)
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 Campbell、 Stephen A.、 1954-、
出版社 Beijing : Publishing House of Electronics Industry, 2003.
ISBN
页数 14, 603 p. : ill. ; 24 cm.
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简介
注解 Reprint. Originally published: New York : Oxford University Press, 2001. 2nd ed. 0195136055.