| 名称 | Optical inspection of microsystems | |
| 索引号 | TB114.2/E20071 | |
| 分类号 | TB114.2 TB114.2(工程控制论) TB114(概率论、数理统计的应用) TB11(工程数学) TB1(工程基础科学) TB(一般工业技术-工业技术) T(工业技术) |
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| 作者 | ||
| 出版社 | Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis, c2007. | |
| ISBN | ||
| 页数 | 503 p., [8] p. of plates : ill. (some col.) ; 27 cm. | |
| 价格 | ||
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| 简介 | ||
| 注解 | ||
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