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名称 Nano-and micro-electromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering
索引号 TN4/E20071.2
分类号 TN4
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 Lyshevski、 Sergey Edward.、
出版社 Boca Raton, Fla. : CRC Press, c2005.
ISBN
页数 [xiv], 722 p., [8] p. of col. plates. : ill. ; 26 cm.
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