《薄膜材料:应力缺陷的形成和表面演化》总结了过去几十年里薄膜材料的研究进展，同时将重点放在薄膜中内应力的起源、发展及其影响等诸多方面，书中不仅系统考虑了薄膜一基底系统或多层膜系统的整体变形及薄膜的断裂、脱层和翘曲，而且还考虑了更小尺度上薄膜中位错的形成及非弹性变形。薄膜中应力的影响与薄膜材料结构之间的联系贯穿于整书的讨论。通过举例计算和有实际意义的实例分析及讨论，更加具体地阐明了书中的基本概念，并于每章后附有习题。