| 名称 | MEMS : introduction and fundamentals | |
| 索引号 | TN4/E20072.2 | |
| 分类号 | TN4 TN4(微电子学、集成电路（IC）) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术) |
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| 作者 | ||
| 出版社 | Boca Raton : CRC/Taylor & Francis, 2006. | |
| ISBN | ||
| 页数 | 1 v. (various pagings) : ill. ; 26 cm. | |
| 价格 | ||
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| 简介 | ||
| 注解 | ||
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