名称 半导体集成电路制造手册
索引号 TN430.5-62/20071
分类号 TN430.5-62
TN43(半导体集成电路(固体电路))
TN4(微电子学、集成电路(IC))
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 金恩、 H.、赵树武、
出版社 北京 : 电子工业出版社, 2006
ISBN 7-121-03281-3
页数 732页 : 图 ; 27cm
价格 精装
标签 专业技术、电子工程、饭饭、
简介
注解 据The McGraw-Hill Companies, Inc.2005年英文版译出 由电子工业出版社和美国麦格劳-希尔教育(亚洲)出版公司合作出版 有书目 本书介绍了有关半导体晶圆工艺、MEMS、纳米技术和平面显示器的最新信息,以及最先进的生产和自动化技术;包括良品率管理、材料自动运送系统、晶圆厂和洁净室的设计和运营管理、气体去除和废物处理管理等内容。
书籍简介

本书是一本综合性很强的参考书,由60名国际专家编写,并由同等水平的顾问组审校。内容涵盖相关技术的基础知识和现实中的实际应用,以及对生产过程的计划、实施和控制等运营管理方面的考虑。涉及制造工艺和辅助设施——从原材料的准备到封装和测试,从基础知识到最新技术。针对最优化设计和最佳制造工艺,提供了以最低成本制造最佳质量芯片方面的必要信息。书中介绍了有关半导体晶圆工艺、MEMS、纳米技术和平面显示器的最新信息,以及最先进的生产和自动化技术。包括良品率管理、材料自动运送系统、晶圆厂和洁净室的设计和运营管理、气体去除和废物处理管理等。如此之广的覆盖面使得本书成为半导体领域内综合性最强的单卷参考书。