《半导体薄膜光谱学》主要介绍了半导体薄膜光谱学的理论基础和实验基础知识，从实验原理、实验装置、实验结果分析等方面详细介绍了拉曼光谱，光致发光和光调制反射几种实验方法，并结合一系列实验结果，具体分析了CuGase：薄膜的结构特性与光学特性。使读者能够全面、系统地了解半导体薄膜光谱技术的测试方法和分析方法。《半导体薄膜光谱学》内容新颖，深入浅出，有助于高年级本科生、研究生和科研人员在半导体薄膜光谱学学习研究中掌握基本原理和方法。《半导体薄膜光谱学》可作为教学和科研的参考书。