《硅材料检测技术》主要介绍了半导体硅材料常规电学参数的物理测试方法、检测晶体缺陷的化学腐蚀法、半导体晶体定向法、硅单晶中氧和碳含量的测定方法。《硅材料检测技术》还介绍了多晶硅中基硼、基磷含量的检验方法、纯水的制备及高纯分析方法。
为了确保测试数据的准确性，对硅材料常规物理参数测试的测准条件作了详细的分析介绍。对先进的测试技术作了一般的介绍。《硅材料检测技术》是硅材料技术专业的核心教材。
《硅材料检测技术》可作为高职高专硅材料技术及光伏专业的教材，同时也可作为中专、技校和从事单晶硅生产的企业员工的培训教材，还可供相关专业工程技术人员学习参考。