大拱桥--暨南大学学生门户 » 图书馆 » 发送器(变化器)、传感器 » 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究
名称 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究
索引号 TP212/20104
分类号 TP212
TP212(发送器(变化器)、传感器)
TP21(自动化元件、部件)
TP2(自动化技术及设备)
TP(自动化技术计算技术技术)
T(工业技术)
作者 赵晓锋、
出版社 哈尔滨 : 黑龙江大学出版社, 2009
ISBN 978-7-81129-126-1
页数 246页 : 图 ; 21cm
价格 CNY25.00
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简介
注解 有书目 (第234-246页) 本书共分七章,主要内容包括:绪论、纳米硅薄膜制备及表征研究、MOSFETs压/磁多功能传感器理论分析、纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构设计和电源激励方式、实验结果与讨论等。
书籍简介

《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》在温殿忠教授提出的JFET压/磁电效应基本理论基础上,给出MOSFETs压/磁多功能传感器在外加压力P≠O、外加磁场B=O;外加压力P≠O、外加磁场B=O;外加压力P≠O、外加磁场8≠O;外加压力P≠O、外加磁场B≠O四种情况下的基本理论分析。采用CMOS工艺和MEMS技术设计、制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极(S)和漏极(D)的MOSFETs压/磁多功能传感器。《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》设计、制作的纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器能够完成压力和磁场的检测,具有良好的压敏特性和磁敏特性,可实现压/磁检测的集成化和一体化,对传感器的小型化、多功能化、集成化和一体化发展具有重要意义。