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名称 | 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究 |
| 索引号 | TP212/20104 | |
| 分类号 | TP212 TP212(发送器(变化器)、传感器) TP21(自动化元件、部件) TP2(自动化技术及设备) TP(自动化技术计算技术技术) T(工业技术) |
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| 作者 | 赵晓锋、 | |
| 出版社 | 哈尔滨 : 黑龙江大学出版社, 2009 | |
| ISBN | 978-7-81129-126-1 | |
| 页数 | 246页 : 图 ; 21cm | |
| 价格 | CNY25.00 | |
| 标签 | ||
| 简介 | ||
| 注解 | 有书目 (第234-246页) 本书共分七章,主要内容包括:绪论、纳米硅薄膜制备及表征研究、MOSFETs压/磁多功能传感器理论分析、纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构设计和电源激励方式、实验结果与讨论等。 | |
书籍简介
《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》在温殿忠教授提出的JFET压/磁电效应基本理论基础上,给出MOSFETs压/磁多功能传感器在外加压力P≠O、外加磁场B=O;外加压力P≠O、外加磁场B=O;外加压力P≠O、外加磁场8≠O;外加压力P≠O、外加磁场B≠O四种情况下的基本理论分析。采用CMOS工艺和MEMS技术设计、制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极(S)和漏极(D)的MOSFETs压/磁多功能传感器。《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》设计、制作的纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器能够完成压力和磁场的检测,具有良好的压敏特性和磁敏特性,可实现压/磁检测的集成化和一体化,对传感器的小型化、多功能化、集成化和一体化发展具有重要意义。











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