| 名称 | 硅片加工工艺学 [电子资源] | |
| 索引号 | ||
| 分类号 | (| 08 环境公报) |
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| 作者 | ||
| 出版社 | , 1985 | |
| ISBN | 15192401 | |
| 页数 | 201页 | |
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| 简介 | ||
| 注解 | 书名原文: Silican wafer processtechnology.:根据美国集成电路工程公司1977年出版《硅版制造手册》第一卷译成 | |
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