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名称 硅微型惯性器件理论及应用 [电子资源]
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 2000
ISBN 7810506935
页数 178页
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标签 专业、
简介
注解 普通高等学校规格教材:本书内容包括微型惯性器件的物理基础，硅微型惯性器件的原理结构及误差分析，硅微型惯性器件的制备工艺，硅微型惯性器件的组合及应用等。