| 名称 | 电子束刻蚀技术 [电子资源] | |
| 索引号 | ||
| 分类号 | (| 08 环境公报) |
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| 作者 | ||
| 出版社 | , 1986 | |
| ISBN | 150343066 | |
| 页数 | 356页 | |
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| 简介 | ||
| 注解 | 书名原文: Electron bean technology in microelectronic fabrication. | |
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