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名称 等离子体表面工程 [电子资源]
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(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 1991
ISBN 7564602876
页数 272页
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简介
注解 版权页有编者:(德)E.布罗奇特:本书内容包括等离子体技术的理论、PVD技术等和等离子体技术在摩擦领域、微电子学方面的应用及等离子体技术在测试和表面分析方面的应用。