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名称 半导体器件典型缺陷分析和图例 [电子资源]
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 2004
ISBN 7504637831
页数 204页
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简介
注解 本书主要论述了如何对半导体器件内部、外部缺陷进行观察判断，并对相关经验进行了总结。