大拱桥--暨南大学学生门户 » 图书馆 » | 08 环境公报 » 机电产品微细加工技术与工艺 [电子资源]
名称 机电产品微细加工技术与工艺 [电子资源]
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 1993
ISBN 7535909574
页数 365页
价格
标签
简介
注解 本书从机电一体化的角度,论述了精密机械和微电子技术这两方面的微细加工技术与工艺,介绍了集成电路的生产技术、工艺原理和加工方法。