《真空微电子学及其应用》可作为高等院电子信息技术、通信技术、微电子学及相关专业的高年级本科生教材，也可供从事真空微电子学研究与开发的专业技术人员参考。真空微电子学是一门新兴交叉学科，涉及到真空电子学、微电子学、薄膜技术和材料科学等多门学科和技术。《真空微电子学及其应用》从真空微电子学的形成、发展历史和最新动态出发，系统地介绍了真空微电子学的物理基础，即场致发射理论和其他相关物理原理，详细地讨论了微细结构制造技术、真空微电子器件工作特性的数值模拟和器件结构设计，着重阐述了真空微电子学的应用及其对未来电子学发展的巨大影响。